2012年,深秋,华夏庐州。
夜,早已深沉如墨。
合城西郊,那座占地数千亩、被高高的围墙和森严的安保与外界隔绝的“神农1号”超级晶圆厂区,此刻却依旧灯火通明,宛如一座不夜之城。
巨大的超净厂房(Fab)内,数千台精密设备发出低沉而持续的嗡鸣,交织成一曲属于现代工业文明、单调却又充满力量的交响。
无尘车间内,身着从头到脚包裹严实的白色“兔子装”、只露出一双眼睛的工程师和技术员们,正神情肃穆、步履匆匆地穿梭于一台台庞大而精密的机器之间。
他们的眼神中,大多布满了熬夜带来的血丝,脸上也难掩疲惫,但更多的,是一种近乎偏执的专注和一种被逼到绝境后的、破釜沉舟般的决绝。
这里,是启明芯“开天计划”中,难度最高、投入最大、也最具战略意义的“神农存储”项目的核心战场。
此刻,这场战争,正进行到最惨烈、也最关键的阶段——128层以上3D NAND Fsh和早期DRAM存储颗粒的初期量产良率攻坚!
国际存储寡头们联手布下的那道绞杀铁幕,正以前所未有的力度,从四面八方向这座刚刚诞生的华夏存储希望之城挤压而来。
最先进的光刻机?
对不起,ASML的最新型号,你们启明芯的订单已经排到三年之后了,而且能否最终拿到出口许可证,还要看M国和荷国政府的心情。
现在能给你们的,只有相对老旧的上两代产品,而且价格还要上浮20%。
核心的刻蚀设备?
LAM和TEL的回复如出一辙:“产能不足,优先保障战略大客户(三星、美光等),贵司的订单可能需要延期至少六个月。”
即便最终拿到,也往往是功能上有所限制的“特供版”。
高纯度的特种电子气体?PVD靶材?大尺寸硅晶圆?光刻胶?对不起,涨价!断供!或者,以各种“合规审查”、“技术标准不符”为由,无限期拖延!
人才?更是寡头们重点关照的对象!
坂本健一从东瀛带来的几位核心弟子,几乎每个人都接到了来自老东家或竞争对手的、包含巨额薪酬和“不回国就等着吃官司”威胁的劝退电话。
启明芯从全球高薪聘请的一些半导体工艺专家,也开始受到各种或明或暗的压力和诱惑。
这,是一场不宣而战的、旨在从根本上扼杀华夏自主高端存储产业的科技绞杀战!
“神农1号”的总指挥,是启明芯副总裁、深川研发中心兼庐州基地负责人孙振南。
这位早年留学德意志、拥有丰富大型项目管理经验的实干家,此刻正站在中央控制室巨大的玻璃幕墙前,眉头紧锁,眺望着下方那片灯火通明、却又危机四伏的超净厂房。
他知道,自己肩上的担子,重如泰山。
“坂本先生,”孙振南转过身,看向身边同样彻夜未眠、但眼神依旧锐利如鹰的坂本健一,声音带着一丝沙哑,
“NAND那边的最新一批测试晶圆,刚刚从蚀刻区出来,初步的电学参数扫描结果……依然不理想。
“深孔刻蚀的均匀性和垂直度控制,还是有很大的波动,导致存储单元的阈值电压离散度过大,坏块率居高不下。良率……良率还在30%以下徘徊。”
30%!这个数字,对于追求大规模量产和成本控制的存储芯片来说,简直是灾难性的!这意味着每生产三片晶圆,就有两片以上是废品!
其烧钱的速度,足以让任何一家公司都为之胆寒!
坂本健一苍老的脸上,看不出太多的情绪波动。
他只是默默地接过孙振南递过来的测试数据报告,戴上老花镜,逐行逐句地仔细审阅着。
他那双曾经见证了东瀛存储产业从辉煌到衰落的深邃眼眸中,此刻充满了对技术细节的极致专注。
“高深宽比刻蚀(HARC)的等离子体均匀性控制,以及刻蚀过程中聚合物副产物的清除,确实是目前最大的瓶颈。”
坂本健一沉吟片刻,指着报告上的几条异常曲线说道,“我们现有的这几台来自TEL的‘阉割版’刻蚀机,其等离子体源的稳定性和腔体环境的精确控制能力,相比他们供给三星的最新型号,至少差了一个代。
“想要在这样的设备上,稳定地刻蚀出128层以上、深宽比超过60:1的完美垂直通道,难度确实非常大。”
“我们已经尝试了所有能想到的工艺参数调整方案,”
一位负责NAND工艺的年轻工程师,脸上带着深深的疲惫和无奈,“调整气体配比、优化刻蚀功率和时间、改进清洗流程……但效果都非常有限。感觉就像……就像在用一把生锈的钝刀,去雕刻一件最精密的艺术品。”
悲观的情绪,如同无形的病毒,开始在团队中悄然蔓延。
就在这时,中央控制室的加密通讯终端突然响起。是来自香江总部的、林轩亲自召开的每日例行技术视频会议。